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- SMC温控器
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温控器

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冷冻式温控器  HRG
经济型温控器(三相电源)


系列/
CAD
设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRG  5~35℃1~15kW±1.0℃/
±0.5℃
空冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
去离子水
(纯水)
乙二醇
水溶液
特长
  • 空冷类。设置操作简单、在任何需要场合都可以得到冷却水。

  • 广泛的应用于激光加工机/分析仪/LCD制造设备/模具温调等。


冷冻式温控器  HRGC
经济型温控器(单相电源)


系列/
CAD
设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRGC  5~35℃1~5kW±1.0℃/
±0.5℃
空冷冷冻式
水冷冷冻式
清水
去离子水(纯水)
乙二醇
水溶液
特长
  • 空冷类。设置操作简单、在任何需要场合都可以得到冷却水。

  • 广泛的应用于激光加工机/分析仪/LCD制造设备/模具温调等。

  • 适合海外出口(单相200~230V)
    符合UL标准、CE规格。


冷冻式温控器  HRZ
高性能温控器


系列/
CAD
设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRZ  -20~40℃1~15kW±0.1℃水冷冷冻式氟素化液
清水
去离子水(纯水)
乙二醇
水溶液
20~90℃
-20~90℃
特长
  • 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信性能,多用于半导体工艺设备。

  • 适用各种安全标准。

  • 符合UL和SEMI标准、CE规格。


冷冻式温控器  HRZ
高性能温控器(带变频器)


系列/
CAD
设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRZ  -20~90℃1.8~10kW±0.1℃水冷冷冻式氟素化液
清水
去离子水(纯水)
乙二醇
水溶液
特长
  • 在HRZ系列高性能的基础上,采用了DC变频压缩机,实现了省能化。

  • 兼备广泛的温度调节范围和冷却能力范围。

  • 适用于更新周期短的半导体器件,可以灵活地响应不断变化的工艺条件。

  • 符合UL和SEMI标准、CE规格。


水冷却式温控器  HRW
高性能温控器(水冷却式)


系列/
CAD
设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRW  20~90℃2~30kW±0.3℃水冷却式氟素化液
清水
去离子水(纯水)
乙二醇
水溶液
特长
  • 可以与工厂内循环用水直接进行热交换。

  • 适用于无需冷冻设备调温的场合。

  • 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信性能,多用于半导体工艺设备。

  • 符合UL和SEMI标准、CE规格。

  • 可选择带变频器类型。


帕耳帖式温控器  HEC
高精度温控器


系列/
CAD
设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HEC  10~60℃230W±0.01~
0.03℃
帕尔贴式
空冷却式
清水
600、1200W±0.01~
0.03℃
帕尔贴式
水冷却式
清水
氟素化液
特长
  • 用于高精度的温度控制。

  • 用帕尔贴式元件可实现无氟里昂高精度温度控制。

  • 结构简单,可靠性高。

  • 小型、低震动,容易组装。

  • 可用于宽泛的电源电压下。

  • 符合UL标准、CE规格。


帕尔贴式温调恒温槽  HEB
高精度恒温槽


系列/
CAD
设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HEB  -15~60℃140W±0.1℃帕尔贴式
水冷却式
清水
氟素化液
特长
  • 用帕尔贴式元件可实现高精度温调恒温槽。

  • 小型、低噪音。

  • 独特的搅拌方式使槽内上下温度分布均匀。


帕耳帖式化学液温控器  HED
氟树脂化学液温控器


系列/
CAD
设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HED  10~60℃300~750W±0.1℃帕耳帖式
水冷却式
去离子水(纯水)
化学液
特长
  • 采用了氟树脂热交换机,实现化学液的直接温控。

  • 氟树脂热交换机可以适应于多种化学液。

  • 符合UL标准、CE规格。


帕耳帖式空气温控器  HEA



系列/
CAD
设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式适用流体
HEA  0~50℃22W±0.1℃帕耳帖式
空冷却式
空气
特长
  • 使用帕尔贴元件的高精度、小型温调器。

  • 对应于局部温调或小容量温调。


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